鎵擴爐

主要技術(shù)指標

擴散爐組機、推拉舟及層流凈化臺

源柜、排毒柜、微機控制柜

擴散爐管數(shù)：1~3管/臺

爐管內(nèi)徑：90~240mm（2寸-6寸）

恒溫區(qū)長度：600~1000mm±1℃（300~800℃）

600~1000m±0.5℃(800~1250℃)

單點穩(wěn)定性：±1℃/24H（300~800℃）

±0.5℃/24H（800~12500℃）

氣源路數(shù)：5路

氣源控制：MFC或浮子流量計

推拉舟速度范圍及精度:（1~1000）±3mm/min

控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制