一、真空管式爐簡介

真空爐、真空管式爐、氣氛燒結(jié)爐、真空燒結(jié)爐、真空氣氛爐、管式真空氣氛燒結(jié)爐為我公司根據(jù)客戶需求專業(yè)定制的真空氣氛熱處理設(shè)備，主要用于氮化硅鍍膜、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)及退火等工藝。本設(shè)備具有：關(guān)鍵部件進(jìn)口、自動(dòng)化程度高、溫度均勻、控制穩(wěn)定等特點(diǎn)，是理想的科研及生產(chǎn)設(shè)備。

二、真空管式爐技術(shù)指標(biāo)

1、外型形式：單管臥式，可根據(jù)客戶需求定制
2、加熱器形式：固定式加熱器（產(chǎn)品隨爐升、降溫）
3、加熱元件：硅鉬棒
4、工藝管材質(zhì)：高純AL2O3
5、高工作溫度：1600℃
6、持續(xù)工作溫度：1500℃
7、升溫速度：1-15℃/min
8、控溫精度：±1℃
9、爐管尺寸：Φ100*1200mm
10、加熱區(qū)尺寸：600mm
11、恒溫區(qū)長度：300mm
12、大加熱功率10KW，保溫功率5KW
13、反射板：產(chǎn)品與爐口之間有數(shù)層反射板，以減少高溫對(duì)爐口的熱輻射。反射板采用高純AL2O3制作，結(jié)構(gòu)為可方便拆卸結(jié)構(gòu)。
14、氣路：N2、H2、NH3
15、極限真空度：1.0*10-1Pa
16、大充氣正壓：30KPa
17、真空計(jì)：采用數(shù)字式壓力傳感器
18、溫控系統(tǒng)：日本島電32段可編程溫控儀
19、控制方式：調(diào)功調(diào)壓
20、密封系統(tǒng)冷卻方式：水冷
21、操作方式：手、自動(dòng)兩種操作方式
22、報(bào)警及保護(hù)：系統(tǒng)設(shè)有超溫報(bào)警及保護(hù)、斷偶報(bào)警及保護(hù)、真空系統(tǒng)閥門互鎖保護(hù)、缺水報(bào)警及保護(hù)
23、供電電源：AC380V±10%、50Hz
24、總功率：10KW、三相五線制

青島晨立電子有限公司可根據(jù)客戶需求專業(yè)化定制各種：管式爐、真空爐、管式真空爐、真空管式爐、真空燒結(jié)爐、氣氛爐、管式氣氛爐、管式氣氛燒結(jié)爐、真空氣氛爐、熱處理氣氛爐、氣氛保護(hù)箱式爐、熱處理氣氛爐、箱式氣氛爐、保護(hù)氣氛爐、高溫氣氛爐、氣氛保護(hù)爐、加熱氣氛爐等各種真空氣氛保護(hù)熱處理設(shè)備，歡迎廣大客戶來電來函。