設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。

設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。     

主要技術(shù)指標(biāo)：

★  爐管數(shù)：    1～4管

★  配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★  恒溫區(qū)長度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★  單點(diǎn)穩(wěn)定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)

±0.5℃/24h (800～1280℃)

★  氣源路數(shù)：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器

★  氣體控制：    浮子/質(zhì)量流量計(jì)

★  懸臂舟參數(shù)：  速度：    20～1000 mm/min

                 大行程：2000 mm

                定位精度：±1 mm 

                 大載荷：17 Kg

★  超凈工作臺(tái)：  凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）

噪音：    ≤62dB（A）

振動(dòng)：    ≤3μm