MPL-B4560F-SJ72AA工業(yè)等級的電機(jī)，在設(shè)計制造上的系數(shù)高，有不容易故障的特點，但仍需要進(jìn)行維護(hù)檢修的行為，以確保使用情況。電機(jī)的定期保養(yǎng)大多包括了清潔、潤滑、檢查聯(lián)軸器、負(fù)載比對、電機(jī)操作溫度檢查、散熱功能檢測、監(jiān)測振動及輸入電源等工作，藉此來維護(hù)及檢測電機(jī)使用情況。常見的維修行為如螺絲重新鎖緊及耗材更新，包括輸入電源線、散熱風(fēng)扇、軸承、聯(lián)軸器等零配件。

若想要延長機(jī)臺使用壽命并檢測出故障的佳途徑就是去了解它的聲音特點，并持續(xù)的監(jiān)控。雖然只是一個簡單的行為，只要工程師或是人員多用點心，但這動作能達(dá)到機(jī)臺預(yù)期故障檢測的效果。

MPL-B4560F-SJ72AA 

AMAT Applied Materials XR80 200mm Ion Implanter System，

AMAT Quantum Leap II，

Applied Materials Quantum Leap II Process Module，

Applied Materials Quantum Leap II Beam Line，

Kokusai Vertron 3 VDF ，

KLA 2131 Defect Wafer Inspection System Working，

Materials Research Corporation Eclipse Star Parts Tool，

Plasma-Therm Industrial Products Core Interface，

Novellus Concept Two II Altus Deposition Tool DLCM，

AMAT XR80 300mm Ion Implanter Process Rack 9090-00668，

LAM Research AC Distribution Unit 685-029442-140 ，

Hitachi S-9300 CD SEM Tool 300mm Complete，

CFM Water Purification System Full Flow 4/97 Astex，

AMAT Centura RTP 300mm Chamber Tool，

LAM OnTrak DSS-200，

Therma-Wave Opti-Probe 2600B ，

Lam Rainbow 4720 Etcher Tool 150mm 4420 OEM-650A，

LAM Rainbow 4720 150mm Etcher Tool 4420 OEM-650A XL，

Tokyo Electron ACT 12，

Faro Measuring Arm S12 ，

Nova NovaScan 3060 Meas. Unit Wet System new 0190-00492，

Nova NovaScan 3030 Dry Meas. Unit 300mm new 0190-00563，

Faro Measuring Arm S08 ，

Pfeiffer WS6000 ，

KLA-Tencor Prometrix FT-750，

NANOmetrics NanoSpec 9000b 9000i ，

KLA-Tencor Prometrix FT-750，

Nikon Optistation 3 ，

Coherent ExciStar S Laser 1127985 rebuilt 0190-B0150，

LAM Rittal Corp. AC Distribution Unit ES5984，

Rudolph MetaPulse XCu 200mm Metrology Tool，

KLA-Tencor CRS 3000 300MM COMPLETE SYSTEM，

Lot 9 Edwards QDP40 QDP80 QMB250 Dry Vacuum Pump，

Tokyo Electron ACT 12 ，

Nikon Card Cage Assy. APGCi 7500 RS013-497 ，

Verteq 1800 SRD Tool 1800.6 1800-6AR，

CTI-Cryogenics High Capacity Compressor 0190-07137 ，

Edwards STP-A2503PV TurboPump B752-01-01 3620-00007 ，

TEL ACT 12 Wafer Edge Exposure (WEE) Process Station，

Nova NovaScan 420 ，

Pfeiffer WKP 6000 ，

Tokyo Electron ACT 8 AC Power Box PB1-U125-01-T Used，

Tokyo Electron ACT 8 SOG AC Power Box PB1-U100-WA-DT，

Shinwa Temperature & Humidity Controller T&H-ESA-8-T-01，

Rudolph Technologies MetaPulse 200 Metrology Tool 200mm，

Rudolph Technologies MetaPulse 200X Cu Metrology Tool，

Rudolph Technologies Metrology Tool MetaPulse 200X Cu，

Tokyo Electron ACT 12 Develop Process Station Left，

Tokyo Electron ACT 12 Develop Process Station Right，

Novellus Concept Two Altus Wafer Chamber CVD-W complete，

，rebuilt 3620-00486

AMAT XR80 Implanter 300mm Wheel and motor 0020-99685，

MicroVision 200mm Wafer Sorter MVT 7080 Sorter working，

Pfeiffer D-35614 WKP 1000 AM Dry Vacuum Pump Blower ，

Tokyo Electron ACT 12 Coat Process Station Right，

Tokyo Electron ACT 12 Coat Process Station Left，

Tokyo Electron ACT 12 Cassette Block Robotics Arm，

LAM OnTrak Synergy Integra Wafer Scrubber Parts System，

AMAT XR80 Implanter Gas Box Module Untested，

TEL ACT 12 Coat & Adhesion Side Chemical Cabinet，

Fusion Semiconductor M200，

Schlumberger ITS9000FX ，

Yaskawa SGMCS-1CR3A-YA23，

ENI Spectrum B-10513 RF Generator 0190-17877 ，

ENI Spectrum RF Generator B-10513 ，

TEL ACT 8 or 12 Computer Module CT2980-415508-W1，

Tokyo Electron TEL ACT 12 AC Power Box PB122-U300-02W，

Edwards Vacuum Turbopump STP-XH2603P ，

Novellus Concept II Two C2-DCLM-S ，

GE Osmonics Tonkaflo Pump SS Series SS12519E，

Rorze Robot w/ Control RR721L202H-H30-1CA 0190-01152，

Engenuity WT288 Thermal Spectroscopy Analyzer PTM5081，

SMC Thermo-Con ACT 12 Tokyo Electron INR-244-244U-670，

Seiko Seiki STP-1000，

Nova NovaScan 420 Measurement Unit working，

Pfeiffer Vacuum Turbopump TMH 1001P rebuilt，

Alcatel Adixen ACT 1300M ATH 1600 M TurboPump System，

AE Ovation 35162 RF Generator 3150861-002 0190-27049，

Kensington 200mm Wafer Sorter Mapping Station CSMT-4，

Takatori ATRM-2100 ，

Therma-Wave OptiProbe 2600B ，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP 2001-LME ，

ASML DSX Stepper A1 Prime 8540138001 ，

AMAT Endura PVD Lower Chamber 300mm 0010-22744，

AMAT Endura PVD Lower Chamber 0010-22744 300mm，

AMAT XR80 Implanter Wheel Assembly 200mm，

Pfeiffer Vacuum OnTool Dry Pump PKT16919 ，

ATS M-Pak MP40C-DI Temp. Control Chiller 0190-08467 ，

ATS M-Pak Chiller System MP40B-GL new 0190-08471，

Kawasaki Wafer Robot 3NS410B-D501 0190-24909 ，

CTI-Cryogenics IS-1000 Cryo Compressor 0190-23685 N，

Tokyo Electron ACT 8 AC Power Box PB1-U125-01-T ，

TEL ACT 12 ，

Nicolet ECO ，

ATS M-Pak Temp，

Kobelco Leo LTA-1200，

Advanced Thermal Sciences Chiller MP40B-GL，

Mitsubishi RV-E14NHC-SA06，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3203LMC-K1 ，

Shimadzu Turbopump TMP-3403LMC working 3620-00454，

Coherent Photocoagulation Laser Novus Omni untested，

Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3403LMTC ，