| 品牌:KDL | 規(guī)格:立式/臺(tái)式 | 產(chǎn)地:成都 |
本公司生產(chǎn)的真空鍍膜電源(真空蒸發(fā)鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源)有以下特點(diǎn):
1、恒流輸出,不隨氣壓變化。
2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有的負(fù)載匹配能力。
3、工藝重復(fù)性好。
4、提高成膜速度, 實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的濺射膜層。
詳細(xì)說明:
真空鍍膜電源
真空鍍膜行業(yè)不同于以往的電鍍行業(yè),屬于物理方式的表面處理行業(yè)。廣泛用于各種金屬及非金屬鍍膜裝置,涂鍍光元件、微電子元件、磁性元件、鐘表、種類裝飾材料、體育用品、精密工模具、薄膜包裝等鍍膜制品,以及應(yīng)用于現(xiàn)代工業(yè)、航空航天航海等軍事領(lǐng)域的鍍耐蝕膜、耐磨損膜、固體潤(rùn)滑膜裝置。 真空鍍膜過程非常復(fù)雜,由于鍍膜原理的不同分為很多種類,僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩?span style="font-family:arial"> (HV,UHV)而擁有統(tǒng)一名稱。真空鍍膜主要分類有兩個(gè)大種類:蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等。
一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜: 一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。
二 對(duì)于濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
真空鍍膜電源是真空鍍膜設(shè)備的重要組成部分。例如在真空濺射設(shè)備中就是由濺射室、磁控濺射靶、對(duì)向磁控靶、射頻電源、直流電源、樣品加熱轉(zhuǎn)臺(tái)、真空獲得及測(cè)量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、微機(jī)控制膜層系統(tǒng)等組成。
本公司自主研發(fā)生產(chǎn)的真空鍍膜電源,成功地運(yùn)用了優(yōu)異的脈寬調(diào)制技術(shù)(PWM),引進(jìn)三菱、富士等國(guó)外先進(jìn)的IGBT核心執(zhí)行元件,大功率機(jī)器采用結(jié)構(gòu)均流技術(shù),并配以各種完善的保護(hù)功能,使得高頻開關(guān)電源可靠性問題得到了圓滿解決,滿足低紋波要求,且體積小、重量輕、節(jié)能環(huán)保,是一種性價(jià)比優(yōu)異的直流電源產(chǎn)品,也是可控硅整流電源的替代品。
· 技術(shù)參數(shù)
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品名 | 真空鍍膜電源 | |
型號(hào) | SPWM系列 | |
輸入 | 相數(shù) | 單相或三相 |
電壓 | 220/380V | |
頻率 | 50Hz | |
輸入方式 | 4線(含地線) | |
輸出 | 波形 | 直線 |
功率 | 30KW /60KW /100KW(可定制) | |
電壓 | 0—1200V(可定制) | |
穩(wěn)定度 | ≤1% | |
電流 | 0—200A(可定制) | |
穩(wěn)定度 | ≤1% | |
紋波及雜訊 | ≤5%或≤3% | |
效率 | ≥90% | |
控制 | 功率 | 可選擇 |
電壓 | 恒壓控制,可本地控制也可通過0-10V或4-20mA | |
電流 | 可選擇 | |
保護(hù) | 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護(hù)功能 | |
冷卻 | 風(fēng)冷 | |
外型 | 外殼 |
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尺寸(W*D*H) | 482.6mm*600mm*266.7mm(30KW) | |
重量 | 30KG(30KW) | |
備注 |
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