產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆閉管式擴(kuò)散系統(tǒng)，有效降低生產(chǎn)成本，更潔凈、更環(huán)保
◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制
◆采用懸臂送片器，操作方便、無摩擦污染等
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種保護(hù)功能
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命
主要技術(shù)指標(biāo)
◆工作溫度：400～1100℃
◆有效口徑：適應(yīng)石英管外徑Ф320mm
◆裝片數(shù)量：400片/管
◆工藝管數(shù)量：1～4管（可選擇）
◆恒溫區(qū)長度： 1100mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆恒溫區(qū)精度：≤±1℃（600～1100℃）
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±1℃/24h（600～1100℃）
◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度：15℃/min(300～1300℃)
                大降溫速度： 5℃/min (1300～900℃)
◆實(shí)時(shí)顯示工藝過程恒溫區(qū)內(nèi)前、中、后三點(diǎn)的實(shí)際溫度
◆送片方式：采用懸臂送片器，進(jìn)退舟速度5mm/min～1000mm/min連續(xù)可調(diào)
◆凈化臺(tái)潔凈度：100級(jí)