藍(lán)寶石基片CMP漿料
![]()
藍(lán)寶石基片CMP漿料是本公司所生產(chǎn)的高純度拋光漿料,具有粒徑分散度低、穩(wěn)定性好、濃度高、可循環(huán)使用等特點(diǎn), 用于藍(lán)寶石基片進(jìn)行軟拋加工,能夠?qū)崿F(xiàn)晶片移除率高,表面平整度高、粗糙度低,表面無(wú)麻點(diǎn)、腐蝕坑等微缺陷,多項(xiàng)參數(shù)達(dá)到先進(jìn)水平。
主要用于2、4、6英寸等藍(lán)寶石襯底片的高質(zhì)量平整化精加工工藝。
【產(chǎn)品參數(shù)】 檢測(cè)項(xiàng)目產(chǎn)品型號(hào)UPNM/SPS-LJ-1601UPNM/SPS-LJ-1602外觀乳白色液體乳白色液體固含量(%)40±140±1pH值(25℃)>9>9粒徑(nm)100-120100-120粘度(25℃,cP)<5<5密度(25℃,g/mL)1.27-1.311.27-1.31氧化鈉(%)<0.3<0.4 |
注意事項(xiàng)
1、拋光漿料使用過(guò)程中盡量避免直接暴露,防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。
2、冬季氣溫較低(<5℃)時(shí),漿料不可放置室外,需存放在恒溫倉(cāng)庫(kù),一旦發(fā)生凝膠將不可使用。
3、漿料使用過(guò)程中需要及時(shí)清洗管路和器具,避免漿料長(zhǎng)期殘留在管路和容器中造成凝膠,引起晶片表面劃傷。
4、漿料循環(huán)使用時(shí),需要在管口添加過(guò)濾裝置,以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用造成晶片表面劃傷。
運(yùn)輸及保存
1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃,25℃為佳存放溫度,存放時(shí)應(yīng)避光,以避免漿料變質(zhì)。
2、保質(zhì)期一年,建議半年內(nèi)使用。
3、避免金屬、顆粒污染,避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。
包裝規(guī)格
25kg/桶,可根據(jù)客戶要求提供包裝。
關(guān)鍵詞: 藍(lán)寶石基片CMP漿料