又稱硅氟氫酸。無水物是無色氣體。不穩(wěn)定。易分解為四氟化硅和氟化氫。水溶液無色，呈強酸性反應。有腐蝕性，能侵蝕玻璃。保存于蠟制或塑料制等容器中。濃溶液冷卻時析出無色二水物的晶體，熔點19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸鹽和冰晶石，并用于電鍍、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氫氟酸中或混和石英粉、氟化鈣和濃硫酸后加熱而制得。也可從磷肥廠中分解磷礦時逸出的四氟化硅氣體用水吸收而得。

1、是制取氟硅酸鈉、鉀、銨、鎂、銅、鋇、鉛和其他氟硅酸鹽及四氟化硅的基本原料。用于金屬電鍍、木材防腐、啤酒消毒、釀造工業(yè)設備消毒(1%～2%H2SiF6)和鉛的電解精制等。還用作媒染劑和金屬表面處理劑。[1] 

2、用于測定鋇。分離鋇和鍶。鉛、錫的電解精制。氟硅酸鹽的制備。設備消毒。

3、氟硅酸也用于某些電鍍的添加劑，氟硅酸或鹽類用于鍍鉻添加，可與硫酸根有相似的作用，并可提高電流效率到20%左右，光亮度提高，光亮電流密度范圍加寬；氟硅酸對鍍鉻層有活化作用，斷電時間短，繼續(xù)復鍍，結合力幾乎不受影響，所以在滾鍍鉻中氟硅酸為必要的添加成分；氟硅酸可降低鍍鉻的電流密度，提高鍍層覆蓋能力，但增加了鍍液的腐蝕性。

3.制取氟硅酸鹽及四氟化硅的原料，也應用于金屬電鍍、木材防腐、啤酒消毒等。