三工位真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件,燒結(jié),焊接等工藝

設(shè)備參數(shù)：

★口徑：Φ350mm        
★工作方式：共用一套加熱體，A、B、C管交替工作

★工作溫度：300-1000℃    
★恒溫區(qū)1000mm±3℃

★冷態(tài)真空度：5Χ10-4Pa        
★真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+K300擴(kuò)散泵

★閥門(mén)：Φ300氣動(dòng)擋板閥為主閥和進(jìn)口電磁閥加熱        
★功率：47KW

★真空計(jì)：復(fù)合數(shù)字表      
★充氣種類：N2、氬氣、H2

★控制系統(tǒng)全自動(dòng)、手動(dòng)