三工位真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件,燒結(jié),焊接等工藝
設(shè)備參數(shù):
★口徑:Φ350mm
★工作方式:共用一套加熱體,A、B、C管交替工作
★工作溫度:300-1000℃
★恒溫區(qū)1000mm±3℃
★冷態(tài)真空度:5Χ10-4Pa
★真空系統(tǒng):機(jī)械泵+K300擴(kuò)散泵
★閥門(mén):Φ300氣動(dòng)擋板閥為主閥和進(jìn)口電磁閥加熱
★功率:47KW
★真空計(jì):復(fù)合數(shù)字表
★充氣種類:N2、氬氣、H2
★控制系統(tǒng)全自動(dòng)、手動(dòng)