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步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動器上撥碼開關(guān)有D1、D2以及D4-D6三類，它們分別的設(shè)置方法如下：

　　1、D1設(shè)置的是驅(qū)動器的發(fā)出脈沖的方式。如果不是步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動器自身發(fā)出脈沖控制電機(jī)的話D1設(shè)置成OFF。如果是步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動器自身發(fā)出脈沖那么將D1設(shè)置成ON即可。

　　2、D2設(shè)置的也是驅(qū)動器的發(fā)出脈沖的方式，但是條件是在D1設(shè)置為OFF時D2設(shè)置才會生效。

　　2、D4-D6設(shè)置的是步進(jìn)電機(jī)工作細(xì)分?jǐn)?shù)，即步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈需要的脈沖數(shù)。細(xì)分越大精度也就越高但是也越容易產(chǎn)生誤差。

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Shimadzu Vacuum Turbopump TMP-3403LMTC ，

Brooks Inligner Prealigner & Controller 001-2980-69，

Nor-Cal Intellisys TPV-800，

Asyst VersaPort STD AMP 200mm LoadPort 9700-5384-11，

Asyst VersPort 2200 Shuttle LoadPort 0190-09121 ，

SMC Thermo Chiller INR-497-049 ，

Yaskawa Transfer Robot Track XU-ACL3701 ，

Adixen Alcatel Vacuum Turbopump ATH 1600 ，

Alcatel ATH 1600 M Vacuum Turbopump working P65621A0，

Toyota T600 Vacuum Dry Pump 0240-52730 ，

TEL ACT 8 Chilling Hot Plate Process Station ，

Hitachi S-9300，

Rasco Heat Exchanger SBCU-100A ，

Toyota T600，

Brooks Fixload 25 V5 Loadport 300mm 0242-30962 ，

Edwards DZR-4800 ，

SMC Thermo Chiller INR-496-001D-X007 ，

MRC Power Supply Tower PDP 2500 ACG-10B ，

TEL ACT 12 WEE Lamp House CT2985-411701-W3 HU250T-A，

TEL ACT 12 Interface Block Robotics Arm 200mm ，

Yaskawa VS2B Robot & Controller RC/ELC1 SRC-II 005，

Edwards STP-1003C ，

MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma FI80131 ，

Nova 300mm Wafer Handler PC 320-52000-00 ，

ENI GHW50A RF Generator 0190-15423，

ENI GHW-50 GHW-50A RF Generator 5000W 0190-15319，

Leybold Dryvac 100P WSU251 ，

Yaskawa Transfer Robot Track Rail XU-ACL4722 ，

Leybold Turbovac 1000 ，

Asyst IsoPort 300mm Load Port 9700-9129-01 ，

SMC Thermo-Con TEL ACT 8 SOG Temp Cont. INR-244-211T-24，

Leybold Vacuum Turbopump Turbovac 1000C rebuilt，

PRI Transfer Robot WTM-511-2-FWS02-V1 ，

Yaskawa TEL Unity 2 Transfer Robot & Controller VS2B，

Kawasaki 30C61E-B019 ，

Leybold TurboVac 1000 C 11764 TMP NT 20 Controller Set，

AMAT Vectra IMP Source RF Match 0010-28724，

Seiko Seiki STP-400，

Ebara A30W Dry Vacuum Pump Working，

PTI TEL ACT 8 ，

Hitachi 3-832863 Yashibi YCC-18K-X DC Pwr Supply Refurb，

Hitachi 7.5kVA Transformer Box W/ Siemens FXD63B250 ，

Agilent Fiber Laser Source Z4203B，

Nikon MAC & LS Controller 027H0153 ，

KLA-Tencor AIT 2 Front Collector Assy. 0032131-001，

SVG Procell Electronics Cabinet & Components NSK，

KLA-Tencor AIT 2 Front Collector Assy. 0032131-000，